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在集成電路產業鏈中，裝備制造無疑身處該鏈條的前端，更是整個產業不可或缺的基礎。中國芯的強大，離不開芯片裝備制造業的強大。現在“中國芯片進口費用超過石油”已成為事實。然而少有人洞察到，高精尖裝備的缺乏，其實才是卡住中國集成電路產業的厄運之手，而資金困境又是厄運之手的手中“王牌”。
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有技術有訂單仍陷入泥沼
與國際巨頭相比，中國集成電路裝備制造企業的數量少、普遍規模小，甚至是微型企業。在中國半導體設備十強排行榜上，中微半導體、上海微電子裝備有限公司、盛美半導體榜上有名，先發優勢明顯。更為重要的是，這些企業在技術上各有特色，或是緊緊追趕國際主流水平，或是填補國內空白，對于中國集成電路產業來說，它們顯得彌足珍貴。
睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱睿勵）是一家在光學測量設備領域成功突圍國際壟斷，并擁有自主核心技術的半導體設備企業，其檢測設備已挺進一流國際客戶的大生產線。其研發的薄膜及OCD設備、光學缺陷檢測設備、電子束缺陷檢測設備三類檢測設備產品，在技術上全部對標行業龍頭美國科磊公司，劍指50億美元的細分市場。
然而，2018年春，當我們走進睿勵，卻看到這里的生產停滯了，研發也無法繼續，海外員工已經有好幾個月沒有領到工資。睿勵相關負責人表示，目前睿勵前期研發的產品已經獲得了市場大訂單，但苦于沒有資金而無法生產。業內人士表示，如果睿勵因此倒閉，團隊解散，國內產業在該檢測設備領域將繼續處于空白而受制于國外企業。而中國集成電路高精尖裝備的制造剛有突破，又可能陷入泥沼。
上下游聯動 共同成長
資金是制約我國集成電路高精尖裝備制造發展的一個重要原因，中微半導體董事長尹志堯說，集成電路裝備的技術門檻高、投資額巨大。國外龍頭廠商有相當體量的營收支撐后續的研發，美國應用材料每年的研發投入高達十億美元以上，這樣的大手筆，令國內企業既艷羨又焦慮。雄厚而持續的資金作為支撐，集成電路裝備制造企業才能有足夠的市場競爭力，也才能生產出高精尖裝備。
對于中國的集成電路設備制造企業來說，依賴政策基金輸血是不夠的。如果忽視了市場盈利能力和引入社會資金，常會遺憾錯過發展的窗口期。相比之下，上海微電子裝備有限公司（以下簡稱上微）在研發生產中抓住市場機遇盈利的策略，給產業發展保留了火種。集成電路封裝使用的光刻機，并不需要很高的精度，達到1—2微米就可以使用，上微研發制造的500系列步進投影光刻機，國內市場占有率達80%以上。
解決我國集成電路產業高精尖裝備缺乏的問題，資金是企業難以回避的問題。上海市集成電路行業協會建議，一方面需要從國家到地區構筑產業基金體系，并建立社會資本進入企業的暢通渠道；另一方面企業自身要采用靈活經營策略，盡快完成從輸血到造血的轉變。
此外，從行業發展趨勢上看，半導體業的并購整合是大勢所趨，也是解決資金問題的途徑之一。睿勵在等待著解鎖困局的蹊徑。尋求收購合并曾是一個可以期待的選項。但是，如何讓國資、民資、外資在整合并購中相互合作，逐步由單點、單個設備向生產線成套設備發展，這對于產業主管部門和企業經營者來說，都是一個艱巨挑戰。
集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟秘書長石瑛說：“國內集成電路制造材料企業更需要產業鏈上下游的互動，只有下游用戶給了機會，上游的材料企業才有成長的可能。”
上海集成電路行業協會原副秘書長王龍興認為，“中國半導體設備行業已經走到了需要通過創新和整合來支撐發展的時代，這就需要中國在產業體制機制上有所突破。”要改變高精尖裝備的缺乏問題，集成電路裝備制造企業除了自身聯合外，還要與上下游聯合，將零部件供應商和用戶拉入產業聯盟中，由政府推動建立3—5年的裝備制造產業發展規劃。
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